连续进出料等离子体增强:可实现连续可控温度以及等离子强度等，配备真空系统，可以低压条件下实现工艺，整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光相对均匀等效，解决了传统等离子工作不稳定状态，炉管可360°旋转，有助于粉料的烧结更均匀，可大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0-35°之间，所有物料经过的管道都选用非金属材质，如：进出料腔体选用石英材质，推料杆选用石英及聚四氟材质。
连续进出料等离子体增强回转PECVD设备技术指标：
(1)该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;
(2)整个炉子和送料、收料系统能够一起倾斜，方便出放料，倾斜角度在0~35°之间可调;
(3)送料系统送料速度连续可调，停止送料且炉体zui大倾斜时，物料不从送料系统外漏。送料系统方便拆卸，拆卸之后可以手动加料，设备可正常运行。
(4)炉管回转稳定，不会上下左右跳动;转速在0~60r/min连续可调，能在60r/min转速下连续长期运转(]24h)。
(5)炉子转速，加料速度，倾斜角度，真空度，气体流量，温度，运行时间，等离子体功率等参数都用数字显示，并在运行过程记录设备整个运行轨迹及上述参数(在工控及独立电脑上均能实现);
(6)设备运行可分为手动模式与自动模式;自动模式下可实现高度自动化运行，所有参数程序设定好后自动运行：可实现按照设定程序连续工作，可设置多工作段不同参数，并可进行某工作段循环工作及某程序循环工作;
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